冷场发射扫描电子显微镜

设备名称： 冷场发射扫描电子显微镜

型号： S4800

厂家：日本Hitachi

主要用途：

该设备主要用于各种样品的高分辨表面形貌成像观察，点分辨率可达1 nm。同时该设备由于发射束流低并配备了减速装置，因此可以较大程度上减少样品在电子束轰击下的充电效应，适合于一些不导电样品和在电子束辐照下异损坏样品（有机、高分子、生物样品等）的表面高分辨成像。

主要配置：

电子束减速装置

性能指标：

1、二次电子图像分辨率

≤1.0nm保证(加速电压15kV WD = 4mm)

≤2.0nm 保证(加速电压1kV WD = 1.5mm，普通模式)

≤1.4nm 保证(照射电压1kV，WD = 1.5mm，使用减速装置)

放大倍率：20~800,000×

2、样品台

S-4800型

X 0-50 mm

Y 0-50 mm

Z 1.5-30 mm

T -5°~ + 70°

R 360°

样品尺寸（直径） 100mm

样品台控制 五轴马达驱动