FH-3热偶电离真空计

1. 用途及使用范围

本仪器配用ZJ—54D热偶规管和ZJ—10中真空电离规管，用于测量260～10^－4Pa范围的真空度。热偶部分真空度测量范围为260～10^－1Pa。中真空电离规部分真空度测量范围为10～10^－4Pa。

2. 主要技术指标：

2.1 热偶部分:

2.1.1 真空度测量范围                          260～10^－1Pa

2.1.2 加热电流：                  30mA±2.4mA

2.1.3 配用规管：                  ZJ—54D热偶规管

2.2 中真空电离规部分:

2.2.1 真空度测量范围:         10～10^－4Pa

2.2.2 加速电压:                    165V±2%

2.2.3 阴极电压:                     50V± 2%

2.2.4 发射电流:                     50μA ( 10～10^-3Pa)

                                          500μA(10^-4Pa)

2.2.5 微电流放大器测量误差:         <5%

2.2.6 除气方式:                     轰击除气，功率≤35W

2.3 仪器使用条件:

2.3.1 工作电源:                    交流220V±5%   50Hz

2.3.2 环境温度:                     0 ～35℃

2.3.3 相对湿度:                     <80%(25℃)

2.3.4 工作环境内应无强烈机械振动和外加磁场。

3.结构原理

本仪器由二大部分组成:

3.1 热偶部分

热偶部分是根据气体热传导在低真空条件下与气体压强有关的原理工作的在热偶规管内封装了一根用于加热的电阻丝及一对热偶。测量时，一般是以一恒定电流去加热电热丝.由于在不同真空度条件下，加热丝通过气体传递的热量不同，所以电阻丝上的温度是真空度的函数，这样，热电偶输出的热电势也是真空度的函数。测量电路由加热电流稳定电路和热偶电势测量电路组成。前者送出一恒定电流到规管加热丝，后者测量规管送出的热偶电势，放大器输出电压由表头指示即可读得真空度的数值

3.2 电离部分

该部分由稳发射电流电路，加速极电压稳定电路，微电流放大电路以及规管除气电源,规管保护电路5部分组成。其原理框图如图一所示

图1. 电离部分原理框图

该部分电路提供了中真空规工作所**须的电源及离子流测量电路

仪器前面板如图二所示

图2. 仪器前面板示意图

图中：

1. 加热电流调节旋钮。

2. 总电源开关

3. 热偶加热电流—真空度显示转换开关

4. 电离部分电源开关

5. 电离部分除气开关

7. 除气电流调节旋钮

8. 测量倍率选择旋钮

9. 电离部分显示表头

10. 热偶部分显示表头

仪器后面板如图三所示

图3. 仪器后面板示意图

图中

1. 热偶规管联接电缆插座

2. 电源插座

3. 保险丝

5. 电离规管联接电缆插座

6. 收集极插座

4.使用方法

4.1 规管安装

将规管封接于真空系统。电离规管应垂直安装。如因安装位置影响不能垂直安装则规管灯丝平面应与重力方向平行。

4.2 热偶部分使用方法

4.2.1加热电流调节——调整加热电流有二种方法：

4.2.1.1 按规管给出的电流调节:

按住面板上的热偶加热电流—真空度显示转换开关，调节“加热电流调节”旋钮使电流为规管给定的电流。

4.2.1.2 调高真空时的满度值：

将规管抽至<10^-2Pa高真空，调节面板上的“加热电流调节”旋钮，使表头指针指向满度。再按下热偶加热电流—真空度显示转换开关，此时电表指示值即为加热电流值。

一般情况下，加热电流为30mA 左右。工作时若需了解仪器工作情况，可按下电流—测量开关，如该值为30mA±1.5mA则视为正常。

4.2.2真空度测量

将规管与仪器联接好后，则电源开启后，表头指示即为真空度。

4.3 电离部分使用方法

本仪器发射电流及放大器的零点及满度出厂时均已调整完毕，用户使用时不需调整，使用极为方便。

4.3.1 测量真空度:

开机后可将电离规管离子流测量倍率选择开关拨向发射电流档，观察表头应指向中间红线附近。然后选择合适的测量倍率，表头上指示的即为真空度数值。

4.3.2规管除气

一般不需对规管除气，当真空度优于10^－3Pa时，可根据需要对规管除气。具体步骤如下：

4.3.2.1 将电离部分测量倍率开关拔向“发射电流”档；

4.3.2.2 把“除气电流调节”旋钮按逆时针方向旋到底；

4.3.2.3 按下除气开关，除气开关指示灯亮；

4.3.2.4 缓慢旋转“除气电流调节”旋钮，观察加速极轰击至暗红为止。电流一般在16mA左右(表头指示在8mA，即16%左右，除气时表头满度为100mA)。注意掌握除气时间，防止规管暴裂(一般2～3分钟，时间不够可以多次除气)。

停止除气时应先把“除气电流调节”旋钮按逆时针方向旋到底，再次按下除气开关，除气开关指示灯灭，然后再把测量倍率开关拔向合适的量程档。

4.4 电离部分过量程保护

当离子流大于满量程离子流4倍时，仪器自动切断电离部分电源。重新启动前应首先检查量程选择是否合适，外接引线是否正常。然后开,关电离开关一次，仪器恢复正常工作。

5. 仪器成套性

5.1 FH-3中真空复合计                        一台

5.2 ZJ—54D 热偶规管：                  一支

5.3 ZJ—10电离规管              　　　  一支

5.4 规管电缆线                                  三根

5.5 电源线                             一根

6 .维护，储存和运输

6.1 本设备在使用过程中**须正确操作和维护，并防止灰尘与潮气侵入

6.2 在长期使用后应作内部检查，**内部所积尘污。

6.3 设备应存放在环境温度为+10-35 ℃，相对湿度<80%和无腐蚀性气体及油蒸汽，无强烈电磁场与机械振动，并具有良好通风的室内。

6.4 运输时设备应装在具有防潮袋的牢固运输箱内，包装好的设备与箱壁间应放有清洁干燥的防振物，运输箱外应标有"向上"，"小心轻放"等标记。