高压气体探测器（HPGP-101-C）粒子监测仪

监测制程压力气体中的污染物。仪器包含探测器和用于采集和报告数据的数据系统。

HPGP 101c 规格说明 (65.5 KB)

好处:
高压气体系统的速度分配
检测气体中的粒子以免其影响成品率
兼容氢、氧以及大多数无毒气体
检验规格
检测制程规格
定量系统变化达标
精确测量粒子尺寸
兼容Facility Net软件的数据管理功能，包括全面的数据储存、管理、报告和警报
被动空腔设计，需要较少的维护
不像其它系统，HPGP 在监测时无需流体通过
纯惰性气体确保安全
管路采样气体泄露时会切断电源

应用:
气体分配系统规格达标
制程气体监测
放射性气体监测

特点:
0.1 SCFM 流量的敏感度为0.1微米
8个粒径通道
在线压力范围为40 到 150psig
被动式激光内腔
多重处理布署探测器系统
安全的仪器外壳
双重探测器运作
氧和氢相容性
高压管路气体粒子监测 (26.9 KB)

选择粒子监测仪 (46.5 KB)

粒子监测基础指导

激光粒子监测仪：制程气体经常地被用于制造业的环境之中。使用管路高压气体，能够地监测粒子水平。HPGP高压气体探测器的工作压力范围为40 到 150psig。0.1 SCFM流量的灵敏度是0.1微米。探测器被安装在一个圆筒形的压力容器内，压力容器起到安全外壳的作用。在运作时，容器内的污染物与干燥的氮一起被加压。如果压力管路向周围泄漏气体，或气体向内泄露进入容器内，则仪器的电源会被切断。金属入口表面为电镀抛光的不锈钢材料，与无毒气体和空气悬浮粒子相兼容。

系统包含HPGP粒子监测仪和 PDS- PA 数据采集系统，带有外接打印机。8个粒径通道显示在 5英寸的CRT显示屏上，以备值机员检视。数据被制成表格或分布图的格式，数据可按分别的方式或累积的方式显示出来