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上海伯东代理磁控共溅镀设备 Co-Sputter

参考价	￥1000000-￥10000000

具体成交价以合同协议为准

公司名称伯东企业（上海）有限公司
品牌其他品牌
型号
所在地上海市
厂商性质代理商
更新时间2023/4/26 9:58:04
访问次数209

产品标签:

电子束蒸镀设备蒸发镀膜电子束蒸发蒸镀系统

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公司介绍主营产品

伯东公司成立于1953 年，范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供进口真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为真空品牌**代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有*的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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德国 Pfeiffer 真空产品, 美国 inTEST 高低温测试机, 美国 Ambrell 感应加热, 美国 Polycold 冷冻机,美国 HVA 真空阀门

产品简介在线询价

磁控共溅镀是指同时有两个或多个磁控溅镀枪, 溅镀于被镀物上. 磁控共溅镀主要用于复合金属或复合材料, 通过分别优化每一支磁控溅镀枪 (靶材) 的功率来控制薄膜质量, 其薄膜厚度取决于溅镀时间.

上海伯东代理磁控共溅镀设备 Co-Sputter 产品信息

磁控共溅镀设备 Co-Sputter

磁控共溅镀设备 Co-Sputter
磁控共溅镀是指同时有两个或多个磁控溅镀枪, 溅镀于被镀物上. 磁控共溅镀主要用于复合金属或复合材料, 通过分别优化每一支磁控溅镀枪 (靶材) 的功率来控制薄膜质量, 其薄膜厚度取决于溅镀时间.

上海伯东代理的磁控共溅镀腔提供了准确控制多个磁控溅镀的制程条件, 加装美国 KRi 离子源为客户提供更好质量的复合式薄膜.单片和多片式的loading chamber, 可节省其制程腔体的抽气时间, 进而节省整体实验时间. 广泛应用于半导体, 纳米科技, 太阳能电池等行业以及氧化物, 氮化物和金属材料的研究等.

上海伯东磁控共溅镀设备配置和优点
客制化基板尺寸, 直径可达 12寸晶圆
薄膜均匀度小于 ±3％
磁控溅镀源 (最多8个源), 具有多种可选的靶材尺寸
具有顺序操作或共沉积的多个溅镀源
射频, 直流或脉冲直流, 分别用于非导电与导电靶材
精准流量控制器（最多4条气体管线）
基板可加热到 1000°C
基材到靶材之间距为可调节的
每个溅镀源和基板均安装遮板

磁控共溅镀设备 Co-sputter

溅镀腔中, 在载台部分可独立施打偏压, 对其基板进行清洁与增加材料的附着性等功能.

安装美国 KRi 离子源: 上海伯东代理美国 KRi 离子源可用于基板清洁和加速镀膜材料的溅射速率, 并且离子源在材料沉积过程中可帮助沉积并使沉积后的薄膜更为致密.

磁控共溅镀设备 Co-sputter

磁控溅镀设备基本参数

系统类型	Real 超高真空	超高真空	高真空	紧凑型高真空
极限真空	5X10-10 Torr	5X10-9 Torr	3X10-7 Torr	5X10-7 Torr
腔室密封	全部 CF(烘烤)	一些密封圈(烘烤)	全部密封圈	全部密封圈
电子枪	3-4, 2-3 英寸	3-4, 2-4 英寸	3-4, 2-4 英寸	3-4, 2-3 英寸
电源	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF	DC / DC pulse / RF
Load-lock	标准(HV)	标准(HV)	标准(HV)/可选	标准(HV)/可选
基板	4-6 英寸加热至 800°C或水冷	4-8 英寸加热至 800°C或水冷	4-8 英寸加热至 800°C	4-6 英寸加热至 800°C
真空泵	低温泵	低温泵 / 分子泵	分子泵	分子泵
监控	真空规和Baratron	真空规和Baratron	真空规和Baratron	真空规和Baratron
工艺控制	部分 / 3位 /手动闸阀	部分 / 3位 /手动闸阀	部分 / 3位 /手动闸阀	部分 / 3位 /手动闸阀
气体	氩气, 氮气, 氧气(load-lock可选)	氩气, 氮气, 氧气(load-lock可选)	氩气, 氮气, 氧气	氩气, 氮气, 氧气
射频偏压清洁	300W RF(清洁和蚀刻)	300W RF(清洁和蚀刻)	可选	可选
离子源	100 KRi 离子源	100 KRi 离子源	可选	可选
薄膜	钛氮化铌NbTiN, 铌 Nb, 钯Pd等	钛氮化铌NbTiN, 铌 Nb, 钯Pd等	二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化铝Al2O3 等	二氧化硅 SiO2, 氮化硅 Si3N4, 氧化铝Al2O3 等

磁控溅镀设备Sputter

腔体
客制化的腔体尺寸取决于基板尺寸和其应用
宽大的前开式门, 并有两个窗口和窗口遮版, 用于观察基材和溅镀源
具有显示功能的全量程真空计和用于压力控制的 Baratron 真空计
腔体的极限真空度约 10-8 Torr

选件
可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起
结合离子源, 热蒸发源, 电子束...等等
基板射频或直流偏压
膜厚监测仪
射频等离子清洁用于基材
OES, RGA 或制程监控的额外备用端口

应用领域
半导体类, 纳米科技
产品质量控制和质量检查
氧化物, 氮化物和金属材料的研究
太阳能电池
光学研究, 材料研究

若您需要进一步的了解上海伯东磁控共溅镀设备, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生