1. 基座、立柱和台面均为花岗岩材料; 雷尼绍光栅分辨率 0.4μm;
3. 配置工业级彩色相机:1/1.8” 英寸 CCD 相机,分辨率达 300 万像素;
5. 光源:LED 同轴光,LED 底光,6 环 8 区表面环形光; 导航系统:
7. 配备 METUS 软件;
9. 可选择共聚焦白光、线激光; 接触式测头 MCP。
型号 | 测量范围 (mm) | 光学测量精度 (μm) | |
Exy | Ez | ||
3.2.2 | 300×200×200 | 2.0+L/200 | 4.5+L/150 |
4.3.2 | 400×300×200 | 2.0+L/200 | 4.5+L/150 |