测量范围: 1 nm -800um
波长范围: 200 nm -1700 nm
光斑直径:200um-4um
适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
测量指标:薄膜厚度,光学常数
界面友好强大: 一键式测量和分析。
实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。
性能参数:
测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm:
测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm
MProbe 40(MSP) 系统标准参数 | ||||
型号 | 波长范围(nm) | 光谱仪/探测器 | 光源 | 厚度 |
Vis-MSP | 400-1000 | Spectrometer F4/Si CCD 3600 pixels/ ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 10nm- 75µm |
UVVisSR-MSP | 200-1000 | Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 16 bit | Deuterium/Tungsten-Halogen | 1nm-75µm |
HRVis-MSP | 700-1100 | Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 14 bit /resolution | Tungsten-Halogen | 1µm-400µm |
NIR-MSP | 900-1700 | F4 Spectrometer InGaAs CCD 512 pixels: ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 50nm- 85µm |
VisNIR-MSP | 400-1700 | Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 3600 pixels CCD and F4 InGaAs 512 pixels PDA) /ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 10nm- 85µm |
UVVisNIR-MSP | 200-1700 | Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 2048 pixels CCD and InGaAs 512)/ ADC – 16 bit | Deuterium/Tungsten-Halogen | 1nm-85µm |
VisXT-MSP | 800-870 | F4 spectrometer/InGaAs 512 pixels PDA | Tungsten-Halogen | 10µm-1400µ |