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| 型号 | FVA2515M | FVA3020M | FVA4030M | ||
| 测量行程（mm） | 250 x 150 x 200 | 300 x 200 x 200 | 400 x 300 x 200 | ||
| 外形尺寸（mm） | 750 x 575 x 1650 | 805 x 635 x 1650 | 931 x 735 x 1650 | ||
| 重量（kg） | 230 | 300 | 380 | ||
| 工作台承重（kg） | 30 | 30 | 30 | ||
| 运动控制 | 全闭环三轴自动控制 | ||||
| 测量精度（μm） | X/Y轴 | E2 = (3.0 + L/200) | |||
| Z轴 | E1 = (5.0 + L/200) | ||||
| 速度（mm/s） | X/Y轴 | 300 | |||
| Z轴 | 200 | ||||
| 光源控制 | 表面光 | 五环八区四十项程控式LED冷光源 | |||
| 轮廓光 | 程控式LED平行冷光源，256级可调 | ||||
| 同轴光 | 可选配 | ||||
| 放大倍率 | 光学放大0.7 ~ 4.5x，影像放大22 ~ 145x | ||||
| 影像系统CCD | 高灵敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD | ||||
| 光栅尺 | 分辨率0.5μm | ||||
| 软件 | FRIMS专用测量软件（FVA-M版） | ||||
| 工作环境 | 温度 | 20±2℃ | |||
| 湿度 | 30% ~ 80% | ||||
| 振动 | ＜0.002g, 低于15Hz | ||||
| 电源 | 210V ~ 230V, 50Hz/60Hz | ||||
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