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| 设备配置 | 2C2D、4C、4D |
| 设备产能 | 180WPH |
| 衬底材质 | Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等 |
| 线宽 | ≥0.35um |
| 适用工艺 | G-line、i-line、PI |
| 应用领域 | MEMS、功率器件、射频集成、光通讯、LED、科研等 |
| 技术特征 | ◼设备采用高速机械手、产能高，稳定性好； ◼配置有RRC功能，光刻胶4寸用量可控制在0.6ml； ◼设备故障、生产工艺参数等记录等可长期保存备查； ◼光刻胶采用精密计量泵供应，精度高，供液稳定，出胶量设定方便； ◼可做两种尺寸兼容，不需要更换零件； ◼可选配光刻胶显影液温控, HMDS等单元部件。 |
| 设备尺寸 | 1650*1450*2040mm（W*D*H） |
宁波润华全芯微电子设备有限公司(ALLSEMI)，简称ASI，位于文化底蕴丰厚、风景秀丽、交通便利的宁波余姚市，在北京、武汉和厦门设有*分支机构。
公司汇聚了一批高素质专业人才，致力于民族半导体装备产业的振兴，专注于新型电子器件生产设备的研发、设计、销售及售后服务。全芯公司与中国台湾、韩国多家公司合作，可提供整线设备解决方案和电子科技领域内的技术咨询服务。
公司通过ISO9001质量体系认证，秉承“专业、诚信、创新、共赢”的经营理念广泛服务于化合物半导体、LED、SAW、 OLED、光通讯、MEMS、*封装等新型电子器件制造领域， 配备了快速响应的销售和技术服务团队。
宁波润华全芯微电子设备有限公司将以*可靠的产品，优质的服务赢得客户信赖，成为一家具有国际影响力的半导体装备及工艺解决方案提供商。
显影机
6英寸匀胶显影机 标准型 ACD6 COATER&DEVELOPER 产品信息
