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| 设备配置 | 2C2D、4C、4D |
| 设备产能 | 110WPH |
| 衬底材质 | Si、Glass等 |
| 线宽 | ≥90nm |
| 适用工艺 | i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC |
| 应用领域 | IC、*封装、MEMS、功率器件、半导体光学、科研等 |
| 技术特征 | ◼设备占地面积小，产能高，工艺单元灵活选配； ◼热板采用渐进式烘烤，冷盘渐进式冷却； ◼能适应5mm以下翘曲晶圆或超薄晶圆传送和加工工艺； ◼标配电动泵，标配匀胶显影管路温控功能； ◼可实现两种尺寸兼容； ◼可选配高精度热板、光学对中、WEE等单元部件； ◼可选配interface模块,实现Inline功能。 |
| 设备尺寸 | 2100*2850*2500mm（W*D*H） |
宁波润华全芯微电子设备有限公司(ALLSEMI)，简称ASI，位于文化底蕴丰厚、风景秀丽、交通便利的宁波余姚市，在北京、武汉和厦门设有*分支机构。
公司汇聚了一批高素质专业人才，致力于民族半导体装备产业的振兴，专注于新型电子器件生产设备的研发、设计、销售及售后服务。全芯公司与中国台湾、韩国多家公司合作，可提供整线设备解决方案和电子科技领域内的技术咨询服务。
公司通过ISO9001质量体系认证，秉承“专业、诚信、创新、共赢”的经营理念广泛服务于化合物半导体、LED、SAW、 OLED、光通讯、MEMS、*封装等新型电子器件制造领域， 配备了快速响应的销售和技术服务团队。
宁波润华全芯微电子设备有限公司将以*可靠的产品，优质的服务赢得客户信赖，成为一家具有国际影响力的半导体装备及工艺解决方案提供商。
显影机
12英寸匀胶显影机 ACD12 COATER&DEVELOPER 产品信息
关键词：功率器件
