金属剥离机

主要特点：

线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。

晶圆尺寸根据用户需求。

腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。

清洗多种金属颗粒和有机物残留。

药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。

药液恒温，或在线加热供给功能。

一、适应的药液有以下几种：

• NMP液体--高温高压

• DMSO液体--高温高压

• IPA液体

• DI-water

二、功能选择：

• 片盒到片盒

• 进口机械手

• CHAMBER采用耐酸碱材质

• 分层药液排放，省液，提供了生产率

• 自动供液、补液

• 主要特点：

  线性布局，自动传片，自动完成去胶工艺。

  晶圆尺寸根据用户需求。

  腔体共有三层，每层都有单独的药液排放 循环功能。

  清洗多种金属颗粒和有机物残留。

  药液在循环中，根据颗粒大小配备相应过滤系统。

  药液恒温，或在线加热供给功能。

  一、适应的药液有以下几种：

• NMP液体--高温高压

• DMSO液体--高温高压

• IPA液体

• DI-water

• 二、功能选择：

• 片盒到片盒

• 进口机械手

• CHAMBER采用耐酸碱材质

• 分层药液排放，省液，提供了生产率

• 自动供液、补液