带有预进气冷却装置的真空泵

概述

真空专家： 带有预进气冷却装置的 AERZEN 鼓风机

为了实现预进气冷却，壳体在进气侧增加了一个插口（原有两个，现为三个）。 滑油供应由溅油润滑实现。 输送室由密封装置真空密封。 驱动轴由带有油栏的两个径向密封环密封。 流动方向为纵向，自上而下。 驱动可以通过直接耦合也可以通过窄 V 型皮带来实现（在限制压力差之下）。

These blowers are useful in improving production processes in a wide variety of industries, including:

Chemical Process Technology

Evacuation of Hydrogen

Thin Film Foil and Glass Coating

Helium Leak Indication Units

Laser Technology

Manufacturing of Flat Screens Manufacturing of Melting Furnaces/ Metallurgy

Micro-Electronics Manufacturing

Semiconductor Instrument Manufacturing

Solar Technology

应用 AERZEN MHV 系列鼓风机的特殊优势：

有 11 种结构尺寸可选

在适用范围内，粗略真空可作为多级泵座的中间级，或者作为相对于大气压力的负压级亦适用

压力差可达 800 mbar

适用于较高的压缩比和 p1/p2 = 5 以内的粗略真空范围

适于持续运行且不会造成过热问题

明显降低压缩排气温度

无需其他必要的阀门、控制器等

信息与文档

技术参数

结构形式：正排量风机

体积流量：250 止于  61.000 m3/h

介质：空气 , 中性气体 , 腐蚀性气体

输送：无油

FINAL VACUUM：表压（单位：10mbar）

PRESSURE DIFFERENCE：表压（单位：10 - 300mbar）

应用

适用于应用的天才。

带有密闭式驱动装置的 AERZEN 鼓风机经过专门设计，可输送中性（HM 系列）和腐蚀性（CM 系列）气体，专用于工业高真空技术。 密闭式电机鼓风机始终结合前级泵使用*。

此前级泵在大气压力条件下开始运行。 通常在大约 50 至 200 mbar 的条件下连接密闭式电机鼓风机，然后泵送流程启动。 根据应用的不同，可以使用液环泵、滑片式真空泵、螺杆真空泵或鼓风机作为前级泵。 配有 AERZEN 变频器并使用专用参数集时，前级泵也可以在大气压力条件下运行。

应用领域

半导体行业

微电子工业

平面屏幕制造

激光技术

太阳能技术

氦检漏装置

化学工艺技术

箔纸和玻璃喷漆

熔炉制造

氢的提取

*使用带有密闭式驱动装置的 AERZEN 真空鼓风机时，必须配备额外的前级泵（多级系统）。