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NEXIV VMZ-H系列影像测量仪
达到NEXIV系列中的精度，兼具高度的易用性和高性能。
VMZ-H3030以高精度为核心
VMZ-H3030提供300mm x 300mm x 150mm（X，Y，Z）机型，以及一系列高质量的光学器件，标配有TTL（通过镜头的）扫描激光器。该系统设计用于提供高精度测量。
NEXIV系列的精度
由于其设计和结构，VMZ-H达到了NEXIV系列中的精度。
5种光学变焦系统
有5种类型可供选择，以满足不同的视场和分辨率要求。
快速高度测量
高精度、快速高度测量通过高精度透镜激光自动对焦实现，能够以每秒1000点的速度进行快速扫描。
测量困难样本的能力
利用尼康自有的照明配件，可以轻松测量难测的边缘和特征。
不间断自动测量
即使部件定位发生变化，也可以实现精确测量。
规格参数
| XYZ 量程 | 300x300x150 mm |
| 最小读数 | 0.01 μm |
| 载重量 | 30 kg (精度保证: 10 kg) |
| 允许误差 (20 kg以下) | EUX,MPE EUY,MPE: 0.6+2L /1000 μm EUXY,MPE: 0.9+3L /1000 μm EUZ,MPE: 0.9+L /150 μm |
| 精度保证温度 | 20 °C ± 0.5 K |
| 驱动速度 XY, Z | 100 mm/s , 50 mm/s |
| 最小驱动速度 XY, Z | 0.01 mm/s , 0.001 mm/s |
| 相机 | VGA 1/3“ 黑白, 彩色 *彩色相机为选配，仅适用于 Type 1, 2 和 3. |
| 工作距离 | Type 1, 2, 3: 50 mm (使用75度外环光时仅10 mm) / Type 4: 30 mm Type TZ: 31 mm (低倍物镜), 11 mm (高倍物镜) |
| 自动对焦 | 影像, 激光 |
| 电源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5A - 2.5 A |
| 外型尺寸 (WxDxH) 和 重量 | 主机带底座: 1000 x 1125 x 1750 mm / 约 500 kg 控制箱: 190 x 450 x 440 mm / 约 15 kg |
| 占地大小 (WxD) | 3000×2800 mm |
| 光源 | |
| Type 1, 2, 3 和 4 | 全白色LED反射, 透射, 3层8方向环光/Type 4 仅1层 |
| Type TZ | 反射, 透射, 暗场 |
| 电源 | AC 100 - 240 V ± 10% 50/60 Hz |
| 功耗 | 5 A - 2.5 A |
光学倍率
| 光学系统 | 光学倍率 | 视野大小 | 主要应用 |
| Type 1 | 0.5X - 7.5X | 9.33×7.01~0.622×0.467 mm | 模具, 机械零件 (家电, 汽车), PCB, 电子零件 |
| Type 2 | 1X - 15X | 4.67×3.5~0.311×0.233 mm | |
| Type 3 | 2X - 30X | 2.33×1.75~0.155×0.117 mm | 电子零件 |
| Type 4 | 4X - 60X | 1.165×0.875~0.078×0.058 mm | 高密度封装基板 (线宽，间距，高度) |
| Type TZ | 1X - 120X | 4.67×3.5~0.039×0.029 mm | 晶圆 (WLP, bump 高, 重布线模板, MEMS模板) |
5 种光学系统可供选择. Type 1, 2, 3 提供低失真的清晰图像和大视野，Type 4 和 TZ 提供高倍率。5种光学系统应对不同的视野范围和倍率大小。
