项目	内容
测量尺寸	满足尺寸230mmx230mm
测量范围	0. 01-1000 Ω/SQ之间
测量点数	每次9点量测，具体9点的位置设计可根据客户提供的进行制作；支持点数定，点数减少，测试时间缩短
测量精度	＜1%(标准电阻），且保证同种型号测量的精确度不同测试仪器间测试误差在±1%
测量重复性	同一片样品测量10次，每个点位的10次数据极差值≤3%(极差值计算公式为：同一点量测10次的数据中，值－最小值／值＋最小值）
测量速度	同时测试5点满足≤5秒，同时测试9点满足≤10秒可根据需要在软件中设定测量的点数，最多为9点
测量数据处理	具有匹配SPC功能。能够匹配自动化设备，统计出每管和每舟抽测样品的方阻Mapping图，并且与MES或自动化PLC进行通讯

产品特性

•精度可对标离线四探针机台，让客户遵循统一标准定标

•无缝对接各自动化厂商，数据支持各种传输方式如PLC/LAN/MES抓取等等

•客户自定测试点位1-9点，测试时间最长10秒完成9点测试，产量影响降到

•相对于市面非接触机台，成本降低，精度提高，多点测试速度有巨大优势

1%行业精度

与非接触式涡流测量相比，四探针技术具有更高的分辨率、良好的精度、长期稳定性和更宽的测量范围。非接触式涡电流测量将衬底的薄层电阻率与表面层的电阻率结合在一起测量，并导致不确定度。
由于探针是弹簧加载的，当样品上升到探针中时，探针会压缩，从而产生恒定的接触力。

数据采集可视化

美能Smart FPP软件将数据采集和强大的分析功能结合在一起，拥有直观的可视化界面，既可以用于设备本身，也可以进行离线使用。
如图所示，Smart FPP可以通过2D或3D形式显示测量结果，对关键的薄膜均匀性数据实现快速可视化展示。该软件可以轻松地在各个测量参数分布图和可旋转的3D图之间切换，以提供的自定义工艺参数视图。

关键词：电阻率数据采集