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半自动快速退火炉RTP-SA-12

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  • 公司名称东莞市晟鼎精密仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地东莞市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/3/18 17:54:14
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东莞市晟鼎精密仪器有限公司,专注为广大客户提供表面性能处理及检测解决方案!晟鼎精密创立于2012年,由十几位一直从事表面性能工作的研究人员组成,立志发展民族品牌,振兴民族工业。通过不懈努力和过硬的产品品质,以及优质的服务,晟鼎精密已经赢得广泛用户的认可,并拥有完善的产品线,吸收了更多的技术及服务人才!如今,公司人数从12人发展至100以上,实现公司业绩每年稳步增长。晟鼎精密主营产品有:接触角测量仪、等离子清洗机、USC超声波除尘、静电消除器等表面性能处理及检测仪器设备。随着工业产品智能化需求不断提升,晟鼎精密不忘初心,形成相对完善的产品系列布局,我们的设备广泛用于3C行业、半导体行业、液晶模组行业、材料行业、LED、摄像头模组以及国内各大研究院及高校;晟鼎精密具有广泛且深入的客户群体,目前已有用户有华为、VIVO、魅族、京东方、蓝思、伯恩、华南理工大学、深圳大学 、华南理工大学、重庆科技大学等;晟鼎精密坚持以市场为导向,坚持投入研发做好产品,团队具备敢拼敢想的创新精神和极其专注的务实作风。目前我们已有各自独立 ,又相互关联的产品联盟,接触角测量仪,等离子清洗机,USC超声波除尘,静电消除器,四类产品在每个细分领域深耕细作。未来,晟鼎精密继续持续以客户为中心,用心打造业内具有竞争力的产品和团队。晟鼎,深入表面,魅力科学。
接触角测量仪
RTP-SA-12半自动快速退火炉是利用卤素红外灯作为热源,利用极快的升温速率,将晶圆或是材料在很短的时间加热至300℃-1250℃,进而消去晶圆或是原材料内部某些缺点,改进产品特性
半自动快速退火炉RTP-SA-12 产品信息

RTP-SA-12半自动快速退火炉是利用卤素红外灯作为热源,利用极快的升温速率,将晶圆或是材料在很短的时间加热至300℃-1250℃,进而消去晶圆或是原材料内部某些缺点,改进产品特性。

工作原理

快速退火炉采用的微电脑自动控制系统,选用PID闭环控制温度,能够达到的控温精度和温度均匀性,而且可配置真空腔体,也可根据客户加工工艺要求配备多路气体。

行业应用

快速热处理工艺(RTP)

快速退火(RTA)

快速热氧化(RTO)

化合物合金(砷化镓、氮化物等)

多晶硅退火

欧姆接触快速合金

产品优势
暂无数据
应用案例
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桌面型快速退火炉RTP-Table-6

温度可达1250℃,可测单晶片样品尺寸为6英寸

全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8

全自动双腔设计,可兼容6-8英寸WAFER

产品尺寸               4-12英寸晶圆或者支持300*300mm产品,兼容12寸及以下晶圆

温度范围                     室温~1250℃

温控方式                     快速PID温控

温度均匀度                 <500℃温度均匀性:±1℃           >500℃时温度均匀性:±1℃

升温速度               ≤25℃/s(SiC载盘)

配件类型

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