FS系列半导体参数测试系统

FS-Pro 系列是业界的人工智能驱动的一体化半导体参数测试系统，单台设备具备IV， CV 与 1/f noise 测试能力，内建的AI算法加速技术全面提升测试效率。业界低频噪声测试黄金系统9812DX和 FS-Pro 的融合使两个产品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。FS-Pro可广泛应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能，实现即插即用体验。基于在产线测试与科研应用方面的优异表现，FS-Pro不仅被多家的设计公司和半导体代工厂，IDM和设计公司采用，在学术界也受到广泛认可，已被数十所大学及研究机构所采用。

产品优势：

一体化： 业界集成IV测试、CV测试、低频噪音（1/f noise）于单台仪器中，无需换线和更新连接即可完成全部低频参数化表征。

超快速：FS-Pro系列较传统半导体参数测试系统，其测试速度高达10倍，业界AI测试加速卡，体验强大速度提升，同时保持测试精度。

模块化架构：PXI模块化架构，可轻松扩展支持生产测试（如 WAT），辅以其高速和完整特性，可以大幅加速量产测试。

操作便捷：内置测量控制软件LabExpress™，拥有直观的用户图形界面，仅需点击几下鼠标就可以完成强大的器件特性分析功能。可选工业级测试软件FastLab， 支持自动探针台，第三方仪器和SRAM，可靠性测试等工业测试需求。

宽量程：高达200V，1A（脉冲3A），0.1fA的灵敏度。

建模仿真：可选内置器件建模与仿真软件（BSIMProPlus/MeQLab/NanoSpice），形成测试，建模仿真系统。

作为9812DX的增强选件：作为内建SMU模块无缝适配9812DX和NoiseProPlus软件，其更低的SMU噪声和更快的DC测试速度显著加速了9812DX的测试速度

产品应用：

可应用于半导体典型器件、LED材料、二维器件、金属材料、新型材料与器件测试。FS-Pro可支持达上百个通道。内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能，实现即插即用体验。

IV电流电压测试。

CV电容电压测试。

1/f noise低频噪音测试。

Pulse脉冲生成。

技术指标：

IV电流电压测试：

高精度参数测量 ，电压200V， 分辨率0.1fA，电流测量精度30fA，直流电流1A，脉冲电流3A。

CV电容电压测试：

内建CV频率范围10Hz~10kHz，最小可测电容20fF，直流偏置电压200V。外置LCR提供高精度（10fF@2MHz，内建直流偏置40V）和高带宽（8MHz）两个选项，同时软件支持第三方工业主流LCR，如E4980A，428x系列等。

1/f noise低频噪音测试：

带宽：0.001Hz-100KHz

噪音分辨率： 2e-28A2/Hz

测量速度： 《10秒钟/偏置（f》0.5Hz）

DUT最小阻抗：500欧姆

DUT直流偏置和电流：200V， 1A

Pulse脉冲生成功能：

电压范围±200V， 最小脉宽50us，最小分辨率100nV