4200A-SCS 半导体参数分析仪

亲眼见证创新！ 4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为高性能的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。

4200A-SCS Clarius TM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。

4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。使用4200A-SCS加快半导体设备、材料和工艺开发的探索、可靠性和故障分析研究。

主要性能指标

●I-V 源测量单元(SMU)

●± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

●100 fA测量分辨率

●选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率

●10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

●100 μF负载电容

●四象限操作

●2 线或 4 线连接

●C-V 多频率电容单元(CVU)

●AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

●1 kHz - 10 MHz 频率范围

●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)

●选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)

●两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

●200 MSa/s，5 ns 采样率

●±40 V (80 V p-p)，±800 mA

●瞬态波形捕获模式

●高压脉冲发生器单元(PGU)

●两个高速脉冲电压源通道

●±40 V (80 V p-p)，± 800 mA

●任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

●I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)

●在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针

●把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针

●支持±210VDC偏置源

●远程前端放大器/开关模块（PRM）

●在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换

●把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安

●降低电缆电容效应参数查看，快速清晰。

推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达50%，从而实现的测量和分析能力。此外，嵌入式测量专业知识提供的测试指导，并让您对最终结果充满信心。