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导光元件可调底座

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  • 公司名称上海拍频光电科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/4/9 17:35:10
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上海拍频光电科技有限公司长期专注于双频激光干涉测量技术研究及其产品开发,所涉及的双频激光器、双频干涉仪、信号处理卡、光纤耦合器等部件均自主研发。产品主要服务于半导体装备、超精密运动控制、长度计量、精密机床校准、振动、速度、加速度测试等领域。我们的核心团队由光学、机械、电子、销售等专业人员组成,均具有十多年双频激光干涉仪产品开发及其应用经验,是国内工程经验的双频激光干涉仪团队之一。SPOE为 用户提供超精密位移检测系统方案设计和产品定制服务,具备各种关键技术指标测试能力,拥有面型干涉仪、平行度检测平台、热漂移检测平台、非线性误差测试平台、转角行程测试平台等。
激光测量仪
导光元件底座(如图1)可对导光元件(反射镜、分光镜)进行X方向平移、Ry和Rz方向旋转调节
导光元件可调底座 产品信息

导光元件底座(图 1)可对导光元件(反射镜、分光镜)进行X方向平移、Ry和Rz方向旋转调节调整完毕,所有自由度均可锁紧。


图1 导光元件底座

光元件可调底座与导光元件之间有两种安装方式,分别如图2和图3所示。如图2所示,适用于水平向分光的应用场景,即入射光、反射光和透射光在同一个水平面上,这种场景导光元件与底座通过两个螺钉连接。如图3所示,适用于竖直向分光的应用场景,即反射光向下(或向上)分光的场景。这种场景,通过底座反面的两个螺钉与导光元件连接。

图2 水平向分光

图3 竖直方向分光


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