光学干涉仪

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公司名称上海拍频光电科技有限公司
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型号
所在地上海市
厂商性质其他
更新时间2024/4/9 17:36:49
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公司介绍主营产品

上海拍频光电科技有限公司长期专注于双频激光干涉测量技术研究及其产品开发，所涉及的双频激光器、双频干涉仪、信号处理卡、光纤耦合器等部件均自主研发。产品主要服务于半导体装备、超精密运动控制、长度计量、精密机床校准、振动、速度、加速度测试等领域。我们的核心团队由光学、机械、电子、销售等专业人员组成，均具有十多年双频激光干涉仪产品开发及其应用经验，是国内工程经验的双频激光干涉仪团队之一。SPOE为用户提供超精密位移检测系统方案设计和产品定制服务，具备各种关键技术指标测试能力，拥有面型干涉仪、平行度检测平台、热漂移检测平台、非线性误差测试平台、转角行程测试平台等。

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激光测量仪

产品简介在线询价

光学干涉仪镜组将参考光束和测量光束在空间上分离，测量光束经过被测反射镜的反射后，返回干涉仪与参考光束发生干涉，被测镜的位移信号被调制成干涉信号

光学干涉仪产品信息

光学干涉仪镜组将参考光束和测量光束在空间上分离，测量光束经过被测反射镜的反射后，返回干涉仪与参考光束发生干涉，被测镜的位移信号被调制成干涉信号。

上海拍频光电科技有限公司针对多种不同的应用场合，开发出了多种类型的干涉仪镜组。

主要型号和参数如下表：

名称	型号	非线性误差	光学细分	光学效率	工作轴数	工作波长	备注
单光束干涉仪	CIF0102-S	<4.2nm	λ/2	>60%	1	633nm	后入光，体积小
单轴角锥干涉仪	CIF0102	<4.2nm	λ/2	>60%	1	633nm	后入光
单轴差分干涉仪	CDIF0102	<4.2nm	λ/2	>60%	1	633nm	后入光
单轴差分干涉仪	PDIF0104	<2.2nm	λ/4	>50%	1	633nm	后入光
单轴平镜干涉仪	PIF0104T	<2.2nm	λ/4	>50%	1	633nm	后入光
	PIF0104R	<2.2nm	λ/4	>50%	1	633nm	右入光*
	PIF0104L	<2.2nm	λ/4	>50%	1	633nm	左入光*
单轴探针干涉仪	TIF0102	<4.2nm	λ/2	>50%	1	633nm	后入光
双轴角锥干涉仪	CIF0102	<2.2nm	λ/2	>20%	2	633nm	后入光
双轴平镜干涉仪	PIF0204T	<2.2nm	λ/4	>20%	2	633nm	后入光
	PIF0204R	<2.2nm	λ/4	>20%	2	633nm	右入光
	PIF0204L	<2.2nm	λ/4	>20%	2	633nm	左入光
双轴差分干涉仪	CDIF0202	<4.2nm	λ/2	>20%	2	633nm	后入光
双轴差分干涉仪	PDIF0204	<2.2nm	λ/4	>20%	2	633nm	后入光
三轴角锥干涉仪	CIF0302T	<4.2nm	λ/2	>12%	3	633nm	后入光
	CIF0302R	<4.2nm	λ/2	>12%	3	633nm	右入光
	CIF0302L	<4.2nm	λ/2	>12%	3	633nm	左入光
三轴平镜干涉仪	PIF0304T	<2.2nm	λ/4	>12%	3	633nm	后入光
	PIF0304R	<2.2nm	λ/4	>12%	3	633nm	右入光
	PIF0304L	<2.2nm	λ/4	>12%	3	633nm	左入光
四轴平镜干涉仪	PIF0404T	<2.2nm	λ/4	>8%	4	633nm	后入光
	PIF0404R	<2.2nm	λ/4	>8%	4	633nm	右入光
	PIF0404L	<2.2nm	λ/4	>8%	4	633nm	左入光
五轴平镜干涉仪	PIF0504T	<2.2nm	λ/4	>7%	5	633nm	后入光
	PIF0504R	<2.2nm	λ/4	>7%	5	633nm	右入光
	PIF0504L	<2.2nm	λ/4	>7%	5	633nm	左入光