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小型直流式磁控溅射仪

参考价39800.00
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称郑州科探仪器设备有限公司
  • 品       牌郑科探
  • 型       号KT--Z1650P
  • 所  在  地郑州市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2024/9/9 14:08:58
  • 访问次数192
规格
39800.00元66 台可售
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郑州科探仪器设备有限公司是集研发、设计、制造、销售为一体的新材料制备设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内众多实验室,科探仪器已经成为老师和同学信赖的品牌。公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育实验和科学研究。经过长期的研发和不断的技术积累,拥有材料制备、材料测试、材料运用等,相关技术10余项,为化学、物理、材料、电子等方面;新材料制备和研发领域的科学工作者们提供了精良的设备。公司通过和院校老师、同学强强联合,形成了高效的信息技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!

目前公司已研发生产科研仪器十多个系列,上百款产品,包括实验电炉、高真空机组、智能供气仪、二维材料制备CVD设备、等离子清洗机、小型磁控溅射仪、小型蒸镀仪、石英管真空封口机、真空探针台、燃料电池评价装置等。主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源领域,物理特性及化学特性的研究,广泛应用于各大院校及材料研究所。

公司与国内高校、科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发、我们秉承公司的发展理念,依靠长期实践的技术经验和严谨的研发能力、科学合理的生产工艺、精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心,期待与您的合作!


实验电炉,高真空机组,智能供气仪,等离子清洗机,小型磁控溅射仪,小型蒸镀仪,石英管真空封口机,真空探针台。
小型直流式磁控溅射仪:水冷式溅射源,可实现高功率持续运行,有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
小型直流式磁控溅射仪 产品信息

小型直流式磁控溅射仪KT-Z1650PVD水冷式溅射源,可实现高功率持续运行,有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛伦兹力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长。

小型直流式磁控溅射仪

 

 

小型直流式磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V 电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa

预留真空接口

KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

 

 


关键词:人机界面
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