HORIBA XF-100 系列数字式液体质量流量计
产品概述
HORIBA XF-100 系列是专为半导体制造、化学机械抛光(CMP)及高纯化学品控制等领域设计的高精度数字式液体质量流量计(Digital Liquid Mass Flow Meter)。该系列采用差压测量原理结合材料物性补偿技术,能够实现稳定、快速、无污染的液体流量控制,是新一代高性能流体控制解决方案。
核心优势
高精度测量:采用哈根-波伊修定律(Hagen-Poiseuille)实现±0.8% F.S. 的流量测量精度
超快响应时间:响应时间低至0.8秒,加快工艺稳定速度
无油洁净设计:无机械运动部件,无需油封,避免化学品污染,适用于高纯液体
单通道流动结构:有效抑制气泡滞留,提升流量检测稳定性
多种通信接口:支持模拟信号输出、RS-485、DeviceNet 等,便于系统集成
技术参数(以 XF-122 为例)
流量范围:0.2 至 30 g/min
测量精度:±0.8% F.S.
响应时间:小于等于 0.8 秒
工作温度范围:0 至 50 摄氏度
工作压力:1.0 MPa
可测液体类型:非腐蚀性液体,粘度不高于 10 cP
通信接口:支持模拟输出(0–5V)、RS-485 数字通信、DeviceNet
电源要求:24 V DC 电源供电
应用领域
半导体制造工艺(薄膜沉积、刻蚀、清洗)
CMP 抛光液/化学液体精准控制
OLED 显示器生产液体输送
精密流体输送系统
医药与化学试剂输送与配比