数字式气体质量流量控制器

HORIBA STEC SEC-Z514MGX 数字式气体质量流量控制器

产品简介

SEC-Z514MGX 是日本 HORIBA STEC 公司推出的一款高精度数字式气体质量流量控制器，属于 SEC-Z500X 系列。该系列产品采用热式传感技术，提供快速响应和高稳定性的气体流量控制，广泛应用于半导体、光电、LED、燃料电池、功能玻璃、环境监测等领域。

主要特点

• 高精度流量控制：在设定流量大于 25% 满量程时，精度可达 ±1.0% 设定点；在设定流量小于等于 25% 满量程时，精度可达 ±0.25% 满量程。

• 快速响应时间：响应时间（T98）不超过 1 秒，确保快速调节和稳定控制。

• 多气体/多量程支持：支持多种气体类型和量程设置，用户可根据需求灵活配置。

• 多种通信接口：提供数字式 RS-485 F-NET 协议和模拟式 0～5VDC 输出，方便与不同系统集成。

• 紧凑设计：小巧的外形设计，适用于空间有限的安装环境。

技术规格

• 型号：SEC-Z514MGX

• 流量范围：根据具体配置，支持从 10 SCCM 到 1000 SLM 的流量范围。

• 气体类型：支持多种气体，包括氮气、氢气、氧气、氩气、氨气、氦气、氯气、氟气等。

• 阀门类型：提供电磁阀和压电陶瓷阀选项，适用于不同流量需求。

• 接口类型：标准接口为 1/4 SWL 类型，满足常规安装需求。

• 工作压力：适用于 0～500 kPa 的工作压力范围。

• 工作温度：适用于 5～50℃ 的环境温度范围，确保设备稳定运行。

应用领域

• 半导体制造：用于气体流量的精确控制，满足芯片制造过程中的严格要求。

• 光电显示：在液晶面板和 OLED 制造过程中，提供稳定的气体供应和控制。

• LED 生产：用于 LED 制程中的气体流量调节，确保产品质量。

• 燃料电池：在燃料电池的研发和生产中，精确控制气体流量，提高效率。

• 功能玻璃：用于功能玻璃的涂层和加工过程中，提供稳定的气体环境。

• 环境监测：用于环境气体的采样和分析，支持环境保护工作。