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硅片切片后清洗设备:品牌：《南北电子》设备用于3”4“5”6“8”硅片的规模生产，产品*性好，技术*。 ⑴整机采用德国进口磁白色PP板焊接而成，本机每槽可同时清洗2个花篮。本设备外型美观，耐酸性能好，操作方便，运行可靠，是半导体生产线理想的硅片清洗设备。 ⑵本设备由机架部分、整机部分、槽体部分、伺服系统、及机械传动部分、电气控制系统构成。 ⑶工艺过程全自动，机械手在槽间转换靠PLC来控制，美国进口导轨和机械手来满足工艺时序。 ⑷除装片和取片需人工外，其余工艺动作均由机械手来实现，适用于连续批量生产。 ⑸机台内设高效过滤器，满足净化工作区工作（1000级~100级，10级为特级）。⑹人机界面为触摸屏，有安全保护故障代码，故障报警，工艺时序号，方便操作、易于维护。
，品牌：《南北电子》分为电器部分、箱体部分、隔离门部分、在线加热部分、喷淋部分、喷淋装置的上下移动部分、管路部分、抽风部分。 1．本设备为柜体式，外箱体为德国磁白PP，内箱体为德国PVDF，操作面带有德国透明PVC门窗。 2．清洗满足工艺：上料→热冷DI水冲洗→下料DI水压力：3kg/cm2DI水加热温度：75°~85° 3．冷热水喷淋方式：自动控制 4．管路部分： ⑴气动阀采用德国产，执行机构与流体隔离，流体接触材质为PVDF，用于DI水的气动阀。 ⑵美国进口在线加热器与DI水接触处采用PVDF材料，防止DI水的污染。有过热保护装置。 5．电控部分：置于机台的右上方，配有紧急停机及报警装置，电控部分采用密封保护方式。 6．排风装置：排风为后排和上排的双重形式。
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