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SORTER SYSTEM传输平台

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具体成交价以合同协议为准

公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
品牌
型号
所在地北京市
厂商性质经销商
更新时间2018/10/26 14:00:46
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产品标签:

传输平台系统传输平台系统厂家传输平台系统供应求购传输平台系统

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公司介绍主营产品

北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区，是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
　　公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验，能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
　　公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本； JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点，能够满足中国客户需求，适合当前的中国市场。
　　作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴，我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

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小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂

产品简介在线询价

SORTER SYSTEM传输平台可实现400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器

SORTER SYSTEM传输平台产品信息

SORTER SYSTEM传输平台可实现400片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器；

应用设备实例

半导体生产线

SORTER SYSTEM传输平台

依据SEMI Standard标准(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
校准器设有缓冲器功能, 使晶圆的更换成为可能, 实现了高吞吐量 (400片/h)
搬运机械手采用路径规划方式, 无行走轴, 支持并列配置盒
搬运机械手进行区域控制, 能够顺畅而快速地进行搬运

配备ID阅读器, 可以进行晶圆的ID读取 (表里支持为选购件)

规格

对应片盒	SEMI E47.1，E62标准品
对应片盒	300 mm FOUP（25片）
对应晶圆	300 mm 硅片（厚度：775 µm）
Throughput*	400片/h
洁净度	ISO标准 Class 2（FFU使用）
外形尺寸*	W1756xD1200xH1901
重量*	大约 600 kg
厂务	电源：AC200V±15% 20A
	干燥空气：0.7 MPa to 0.4 MPa
	真空：优于-60 kPa