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储片盒内晶圆自动搬运传输平台

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具体成交价以合同协议为准

公司名称北京锐洁机器人科技有限公司
品牌
型号
所在地北京市
厂商性质经销商
更新时间2018/10/26 14:05:53
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产品标签:

晶圆自动搬运晶圆自动搬运厂家晶圆自动搬运供应求购晶圆自动搬运

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公司介绍主营产品

北京锐洁机器人科技有限公司位于中国半导体行业中心地北京亦庄经济技术开发区，是由优秀的留学归国技术人员所创办的高科技技术型企业。
　　公司核心技术人员拥有在国内外半导体行业20年的实际从业经验，能够设计可用于半导体设备的各种自动化设备。公司当前的主力产品为小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂等。
　　公司自主独立研发的小尺寸晶圆自动装卸载系统具有占地面积小、自动化程度高的特点，能够有效的提高产线效率，降低生产成本； JEL公司生产的各种洁净机械手臂具有洁净度高、性价比优秀、稳定性好的特点，能够满足中国客户需求，适合当前的中国市场。
　　作为日本JEL公司在中国地区的*合作伙伴，我公司和JEL公司将持续不断的为中国市场提供专业、高性价比的产品以及优质、快捷的服务。

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小尺寸晶圆自动装卸载系统以及日本洁净机械手臂专业厂家JEL生产的各种洁净机械手臂

产品简介在线询价

储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构

储片盒内晶圆自动搬运传输平台产品信息

储片盒内晶圆自动搬运传输平台能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构

储片盒内晶圆自动搬运传输平台

自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
一台设备可以完成打包和拆包的功能
储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
可自动识别晶圆高度
可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度

配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

应用设备实例

半导体工厂生产线

规格

可对应片盒的种类	200 mm 储片盒, 200 mm 片盒
被搬运物	200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
洁净度	ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下)
外形尺寸	1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高)
厂务	电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上
重量	700 kg