新一代晶圆热电偶测温技术——TC wafer系统
新一代晶圆测温技术——TC wafer系统
TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台,测量精度可达mk级别,可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值,也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况,还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。
智测电子还提供整个实验室过程的有线温度计量,保证温度传感器的长期测量精度。
合肥智测电子致力于高精度温测、温控设备的生产和研发定制,为半导体设备提供可靠的国产解决方案
TC为热电偶(Thermocouple)的简称。Tc Wafer热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等。(温度的均匀与否,良率)
TC Wafer主要应用于PVD设备,CVD设备,RTA设备等半导体设备工艺温度均一性检测,用于判定半导体制程工艺是否存在温度工艺缺陷的重要手段。
如有其他问题,请随时提问,我将竭诚为您提供帮助。
* 测量范围和精度可以根据您的要求进行调整;
* 温度响应时间可以控制在微秒级别;
* 传感器的材料和工艺可以满足特定的应用需求;
* 可以提供即插即用的安装方式和数据采集系统。
我们可以根据您的具体需求,提供最合适的TC wafer传感器解决方案,以确保生产过程的稳定性和产品质量。如有需要,请联系我们获取更多信息或定制服务。
TC-Wafer晶圆测温系统 |
高低温探针台晶圆测温系统 |
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