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消息称台积电已为明年生产下定13台EUV光刻机：花了至少120亿

2020-11-14 09:14:18来源：Techweb 关键词：台积电光刻机阅读量：24638

导读：来自Digitimes的新报道称，台积电为明年生产，已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机。简单估算的话，花费的金额超120亿元人民币。

　　台积电和三星均已投入5nm工艺的量产，前者代工的产品包括苹果A14、M1、华为麒麟9000等，后者则包括Exynos 1080以及传言中的骁龙875等。

　　其实从7nm开始，台积电和三星就开始引入EUV光刻，但过程层数较少。按照ASML(阿斯麦)的说法，迭代到5nm后，EUV的层数达到了14层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm，对EUV的依赖将更甚。

　　作为目前能生产EUV光刻机的荷兰ASML来说，自然成了台积电和三星争抢的香饽饽，即便单台价格达到了1.2亿欧元(约合9.4亿元人民币)。

　　来自Digitimes的新报道称，台积电为明年生产，已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机。简单估算的话，花费的金额超120亿元人民币。

　　需要明白的是，EUV光刻机不是有钱就能买，因为ASML每年的产能非常有限，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。

　　另外，ASML定于明年中旬交付新一代EUV光刻机TWINSCAN NXE:3600D，生产效率提升18%、机器匹配套准精度改进为1.1nm，不出意外的话，台积电应该是首批客户。

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