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ASML下一代EUV光刻机启动：核心部件到货

2022-07-22 09:46:10来源：快科技关键词：光刻机 EUV光刻机阅读量：22429

导读：在本季度中，ASML公司下一代的高NA孔径EUV光刻机获得了重大突破，已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台，这也是光刻机的三大核心部件，关系着光刻机的正常运行。

　　荷兰ASML公司今天发布了2022年第二季度财报，当季净销售额为54.31亿欧元，好于市场预期的52.6亿欧元，上年同期为40.20亿欧元，同比增长35%。

　　毛利润为26.65亿欧元，上一季度为17.31亿欧元，上年同期为20.45亿欧元;毛利率为49.1%，上一季度为49.0%。净利润为14.11亿欧元，上年同期为10.38亿欧元，同比增长36%。

　　Q2新增订单金额为84.61亿欧元，其中包括54亿欧元的EUV订单，较上一季度的新增订单金额69.77亿欧元环比增长21%。

　　本季度中，ASML公司出货了12台EUV光刻机，比Q1季度的3台大幅增长，之前因为种种原因限制了出货。

　　值得一提的是，在本季度中，ASML公司下一代的高NA孔径EUV光刻机获得了重大突破，已经收到了来自供应商的物镜、光源及工作台，这也是光刻机的三大核心部件，关系着光刻机的正常运行。

　　根据ASML的消息，相比目前NA孔径只有0.33的光刻机，下一代的EUV光刻机NA孔径提升到0.55，有望进一步提高芯片工艺，是制造2nm及以下工艺的关键设备。

　　高NA孔径的EUV光刻机价格也会大幅上涨，相比目前单台10亿元的价格，下一代光刻机价格要暴涨到4亿美元，人民币26亿元以上，原型机预计2023年上半年完工，2025年首次投入使用，2026年到2030年主力出货。

　　Intel是第一个下单新一代EUV光刻机的，首批4台应该都是他们的，不过三星及台积电也下单了，后面也会角逐新一代工艺。

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