PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器,用于线性,旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。
德国PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
德国PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统
§ 结构紧凑:表面60毫米×60毫米
§ 100微米×100微米闭环行程(130微米×1 30微米,开环)
§ 用于成本关键型应用
§ 通孔尺寸20毫米×20毫米
§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命
§ 也可提供紧凑型版本
应用领域
§ 扫描显微镜
§ 高吞吐量显微镜
§ 超分辨率显微镜
§ 掩模/晶圆定位
§ 干涉测量
§ 测量技术
§ 生物技术
§ 显微操纵
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
订购信息
P-612.20L XY
向纳米定位系统,130微米 × 130微米,孔径为20毫米 × 20毫米,开环
P-612.2SL XY
向纳米定位系统,100微米 × 100微米,孔径为20毫米 × 20毫米,应变片传感器
德国PI P-612.2 XY压电陶瓷纳米定位系统