德国PI P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

皮米级精度，高带宽，用于扫描探针显微镜

P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

§ 用于AFM / SPM的高线性扫描仪

§ 分辨率高达20皮米，滞后小于1 纳米

§ 闭环驱动概念带来zui高带宽

§ 用于生物技术/纳米技术的zui高精度操 纵工具

§ 谐振频率为4.0千赫兹（X、Y）、11 千 赫兹 （Z）

§ 行程1微米×1微米×0.6微米

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动 态和精密的运动。

规格 P-313PicoCubeXY(Z)压电扫描仪 单位

运动和定位

主动轴  X、Y、Z   

X、Y向上的行程（±250伏） 1 微米

Z向上的行程（±250伏） 0.6 微米

X、Y向上的分辨率 0.02 纳米

Z向上的分辨率 0.14 纳米

机械特性

X、Y向上的谐振频率 4 千赫兹

Z向上的谐振频率 11 千赫兹

运动方向上的推/拉力 ±10 牛

负载容量 ±10 牛

其他 工作温度范围 5 到 40 °C

质量 80 克

电缆长度 1.5 米

电压连接 Sub-D 24W7（公头）

*电控 E-536

订购信息

P-313.30L 高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，LEMO连接器

P-313.30D 高线性 PicoCube XYZ向纳米定位器和扫描器，1微米 × 1微米 × 0.6微米，开环，Sub-D连接器

德国PI P-313 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪