德国PI P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统
P-363
PicoCubeXY(Z)压电扫描仪
§ 用于AFM / SPM的超高性能闭环扫描仪
§ 用于生物/纳米技术的紧凑型操纵工具
§ 谐振频率9.8千赫兹
§ 电容式传感器可实现zui高精度
§ 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿
§ 分辨率50皮米
§ 行程5微米×5微米×5微米
§ 真空兼容版本
应用领域
§ 扫描探针显微镜
§ 原子力显微镜
§ 扫描和筛选
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。 它们*真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
自动配置和快速部件更换
机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度
各自由度均相对于单一固定参考进行了测量。对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动 导向)。即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级。
适用于复杂真空应用
压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率。
规格
P-363.3CD P-363.2CD 单位
主动轴 X、Y、Z X, Y
运动和定位
集成传感器 电容式 电容式
-250至+250伏时X、Y向上的开环行程 ±3 ±3 微米
-250至+250伏时Z向上的开环行程 ±2.7 - 微米
X、Y向上的闭环行程 ±2.5 ±2.5 微米
Z向上的闭环行程 ±2.5 - 微米
分辨率,开环* 0.03 0.03 纳米
分辨率,闭环 0.1 0.1 纳米
线性误差 0.05 0.05 %
重复精度** 1 1 纳米
X、Y向上的螺距/偏转角 0.5 0.5 微弧度
Z向运动时的倾斜 0.2 - 微弧度
X、Y向上的直线度 3 3 纳米
X、Y向上的串扰(Z向运动) 5 - 纳米
机械特性
X、Y向上的空载谐振频率 3.1 4.2 千赫兹
Z向上的空载谐振频率 9.8 - 千赫兹
带负载时X、Y向上的谐振频率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫兹
负载容量 10 10 牛
陶瓷类型 PICA, PICA Shear PICA Shear
其他 工作温度范围 -20 到 80 -20 到 80 °C
材料 钛金属 钛金属
尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米
30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米
质量 225 190 克
电缆长度 1.5 1.5 米
传感器/电压连接 Sub-D24W7(公头) Sub-D24W7(公头)
*电控 E-536 E-536
订购信息
P-363.2CD PicoCube高精度XY向纳米定位系统,5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-363.2CL PicoCube高精度XY向纳米定位系统,5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,LEMO连接器
P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统,5微米 × 5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,Sub-D连接器
P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向纳米定位系统,5微米 × 5微米 × 5微米,平行计量,电容传感器,LEMO连接器
德国PI P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪