德国PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

·         X和Y向上的行程达100微米×100微米

·         电容式传感器使分辨率达0.1纳米

·         带直接驱动器的高速版本

·         可提供真空兼容和非磁性版本

·         并联运动实现更高精度和动态

·         导向误差主动补偿的并行计量

·         零间隙，高精度柔性铰链导向系统

·         50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用

应用领域

·         扫描显微镜

·         共聚焦显微镜

·         掩模/晶圆定位

·         表面测量技术

·         纳米压印

·         显微操纵

·         图像处理/稳定

·         高运动平面度和直线度的纳米定位

PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命

的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、*稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

自动配置和快速部件更换

机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

直接位置测量带来大精度

运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现*的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

并联运动实现高动态多轴操作

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。

适用于复杂真空应用

压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作无需润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现极低的排气率。

订购信息

带直接驱动器

P-733.2DD 高动态精密XY向纳米定位系统，30 微米 × 30 微米，直接驱动，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

带Sub-D连接器（公头）的版本

P-733.2CD 精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器

带LEMO连接器的版本

P-733.2CL 精密XY向纳米定位系统，100 微米 × 100 微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器

配件

P-733.AP1 接装板用于将P-733 压电工作台安装在M-545 XY位移平台上 线性定位器，真空兼容达10-9百帕

P-733.2VL 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，LEMO连接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2VD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-6百帕

P-733.2UD 精密XY向纳米定位系统，100微米 × 100微米，电容传感器，平行计量，Sub-D连接器，真空兼容至10-9百帕

德国PI P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器