上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计（Mass flow meter，简称MFM）/气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器小量程为0-2SCCM(标准毫升每分钟)，气体质量流量计&控制器大量程为0-2000SLM(标准升每分钟)，具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点，在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器，也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。

 D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表(可定做分体式耐高温100℃的气体质量流量计/控制器)

D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器由气体质量流量传感器（气体质量流量控制器还包括电磁调节阀）、信号线电源线、气体质量流量显示仪（气体质量流量显示控制仪）等构成。

D600系列数字式一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表

D600系列一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器是我公司推出的数字化流量计产品。它采用单电源供电(6~16VDC或24VDC)，一体化液晶显示瞬时流量、累积流量，对于气体质量流量控制器，更是集成了电磁调节阀，可以直接在液晶面板上设定控制瞬时流量，也可以直接连电脑显示控制；数字，模拟输入输出；具有多气体多量程，高精度等特点。

气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC工作原理

气体质量流量计MFM由传感器、分流器、主通道及电路板等构成，用于测量洁净气体流量。

气体质量控制器MFC除了具有与MFM类似的各个部件外，还有一个流量调节阀及PID控制电路，它不但可以测量气体流量，还可以控制气体流量。

气体通过质量流量控制器（质量流量计）时，大部分气体通过分流器，小部分气体流过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理直接测量气体的质量流量，并将流量传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器进行线性化处理，输出与瞬时流量成正比的电压信号0-5VDC。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将比较后的差值电压放大后去驱动控制阀门，PID闭环控制，使流过通道的气体流量与设定的气体流量相等。

在气体压力、温度变化的情况下，气体质量流量计（气体质量流量控制器）能精确测量（控制）气体流量。

因为气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC测得的是气体的质量流量而不是体积流量，其质量流量单位通常表示为SCCM（标准毫升每分钟）或SLM（标准升每分钟）。

标准状态是指压力为一个大气压（101.325KPa）、温度为0度。因为在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量等同于质量流量。

因此，在选择气体质量流量计或气体质量流量控制器时，需要确认流量范围是不是该标准状态下的标况体积流量（也就是质量流量）。如果是工况流量，需用下列公式换算为标况体积流量。

在不考虑压缩因子的情况下，气体标况流量与工况流量的换算公式为： 

Q标况＝Q工况 * 〔(P表压+0.1)/0.1〕 * 〔 273.15/(273.15+T工况)〕

防腐型气体质量流量计MFM、防腐型气体质量流量控制器MFC采用特殊的密封材料，可用于测量干燥cl2、二氧化硫、氯甲烷等腐蚀性气体。