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产品简介
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上海洪柯自动化仪表有限公司推出的D系列气体质量流量计(Mass flow meter,简称MFM)/气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称MFC)用于测量/控制微小流量气体流量。微流量气体流量计/控制器小量程为0-2SCCM(标准毫升每分钟),气体质量流量计&控制器大量程为0-2000SLM(标准升每分钟),具有精度高、重复性好、量程宽、稳定可靠等特点,在半导体集成电路、特种材料、石化、医药、真空等领域,广泛用于镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体采样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器,也可以用在各类实验室作为流量检验的标准流量计。
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