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青岛佳鼎分析仪器有限公司
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PAS5500/750FDUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术，可以实现130nm的大规模生产
PAS5500/750F DUV步进扫描系统使用成熟的248nmKrF技术，可以实现130nm的大规模生产。它结合了改进的0.7NA 4倍还原镜头的成像能力与调平系统中的多点创新，以及空中II照明技术，包括类星体、多极照明和可选的多重曝光能力。该系统配备了TTL对齐和ATHENA，以提高后端工艺层的对齐精度，配备了一个小于25nm的长期单机覆盖。
步进扫描光刻机PAS 5500-750C进一步减少开销时间，并结合提高客户作业的生产率，提供了130片/h晶圆(200毫米)的生产吞吐量。应用2kHz20WKrF激光器可以获得的操作成本。
特点与优势：
the lowest possible laser Cost of Operation.
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