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A530描述A530移动式氦质谱检漏仪(HeliumMassSpectrometerLeakDetector),是一款大抽速(前级泵抽速30m3/h),低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪
A530 描述
A530 移动式氦质谱检漏仪(Helium Mass Spectrometer Leak Detector),是一款大抽速(前级泵抽速30 m3/h),低维护、高灵敏度、操作便捷的干泵检漏仪。A530 氦质谱检漏仪轻松检漏,使您放心得到快速准确可靠的测试结果。产品广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜,光伏等行业。
功能特点
大抽速前级泵,工作效率高
支持正压检漏,负压检漏
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
自动跟踪本底功能,提供快速可靠的测量结果
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
机器的性能支持7*24 小时长时间在线测试
双铱丝离子源,系统设计有效的防大气冲击功能
配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤
支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底有可便捷更换过滤器
技术参数
最小可检漏率(负压模式) 5×10-13Pa•m3/s
最小可检漏率(正压模式) 5×10-9Pa•m3/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 <0.5s
启动时间 ≤2min
前级油泵抽速 30m3/h(8.3L/s)
外形尺寸(W×D×H) 780×420×1100
重量 110Kg
常见泄漏率
检漏方法示意图
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