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东莞市晟鼎精密仪器有限公司


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ICP干法等离子去胶机ST-3100

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地东莞市

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更新时间:2024-03-18 17:56:46浏览次数:124次

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经营模式:其他

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所在地区:广东东莞市

联系人:销售部

产品简介

ST-3100等离子去胶机采用高密度低损伤等离子源设计,采用独立腔室结构设计,实现均匀的流畅分布,去胶均匀性表现优异

详细介绍

ST-3100等离子去胶机采用高密度低损伤等离子源设计,采用独立腔室结构设计,实现均匀的流畅分布,去胶均匀性表现优异。

应用范围

离子注入后光阻去除

表面残留物清除

刻蚀后表面清洁

聚合物去除

BAW/SAW工艺中的光阻去除


产品优势
暂无数据
应用案例
微波等离子在半导体去胶的应用
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设备整体参数
型号 ST3100      ST3200
PLASMA电源 RF          RF
尺寸(L*W*H) 1300*1190*1847mm   1300*1650*1850mm
适用范围 4-8寸       4-8寸
单次处理片数 1           2

配件类型

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