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东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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实验型微波等离子去胶机
碳化硅刻蚀
刻蚀后表面清洁
氧化硅或氮化硅刻蚀
刻蚀后表面清洁
介质与介质间光阻去除
表面残留物清除
自动化程度 | 半自动 |
PLASMA电源 | RF+BIAS |
尺寸(L*W*H) | 1140*1050*1620mm |
适用范围 | 4-8寸 |
单次处理片数 | 1 |
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