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上海昂观实业有限公司
产品编号:N2016719105747 规格:AV-AWM2000 备注:自动晶圆贴膜机
自动晶圆贴膜机特点: 1. 人工放置wafer和框架; 2.自动贴膜, 3.自动圆周刀割膜, 4.废膜自动回收。 规格: 晶圆尺寸 : 3’ 4’ 5’ 6’ 8’ 晶圆规格 : 各种形状晶圆 晶圆承载方式 : 接触式真空吸附承载 蓝膜宽度 : 265mm ~ 300mm 产量: ≥ 90 pcs./hr. 机器尺寸 : 1.m (长) x 0.65m (宽) x 1.8m (高) 机器重量 : 200kg 控制单元: Panasonic PLC 电压: 220 VAC 50/60 Hz, 5A. 气压: 5kgf/cm^2 dry air
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