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盛美半导体设备(上海)股份有限公司



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公司简介

盛美成立于2005年,是一家注册在上海浦东新区张江高科技园区、具备技术的半导体设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和*封装湿法设备等。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略,通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等,向晶圆制造、*封装及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案,有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。盛美具有资质,承担十一五国家科技重大专项课题“65-45nm铜互连无应力抛光设备研发项目"的研发和十二五国家科技重大专项课题“20-14nm铜互连镀铜设备研发与应用"和“45-22纳米单片晶圆清洗装备研发与应用"的研发。公司立足自主创新,通过多年的技术研发和工艺积累,成功研发出创的 SAPS/T...

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