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东莞市宏格电子科技有限公司
型号M80M120M82M112工件尺寸6″&8″12″6″&8″12″晶圆厚度150-800μm150-800μm150-750μm150-750μm膜类型蓝膜&UV膜膜厚度0
型号 | M80 | M120 | M82 | M112 |
工件尺寸 | 6″&8″ | 12″ | 6″&8″ | 12″ |
晶圆厚度 | 150-800μm | 150-800μm | 150-750μm | 150-750μm |
膜类型 | 蓝膜&UV膜 | |||
膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
膜宽度 | 270-330mm | 330-400mm | 270-330mm | 330-400mm |
工作台 | 防静电特氟龙处理 | |||
加热温度 | 室温-150℃ | |||
效率 | 80片/小时 | 70片/小时 | 80片/小时 | 70片/小时 |
供气 | 0.5Mpa洁净干燥压缩空气 | |||
供电 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
外形尺寸 W*D*H | 360mm*860mm*560mm | 560mm*1000mm*600mm | 600mm*960mm*500mm | 660mm*1100mm*500mm |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 110kg |
主要特点:
1、M80&M120
的防静电滚轮贴膜;
手动拉膜及贴膜;
手动晶圆上下料;
圆周刀弹性结构,割膜力度可调;
结构合理换刀方便;
工作台浮动设计,高度可调;
离型膜自动缠绕回收;
可根据需求做定制化;
2、M82&M122
的防静电滚轮贴膜;
防静电离子风机;
自动胶膜传送及贴覆;
贴膜压力及速度均可调;
手动晶圆上下料;
触摸屏操作面板
基于PLC程序控制;
可根据需求做定制化;
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