富士变频器驱动板SA539655-03、SA539655-02
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半导体制造流程相关
Wafer(晶圆)——硅基片,芯片制造的基础
Lithography(光刻)——使用光刻胶和掩模版进行图形转移
Etching(蚀刻)——通过化学物理方法去除材料
Deposition(沉积)——在晶圆表面沉积薄膜,如:CVD/PVD
Doping(掺杂)——改变半导体材料的电学特性
Ion Implantation(离子注入)——将离子注入晶圆以调整导电性
Chemical Mechanical Planarization(CMP,化学机械抛光)——平整化晶圆表面
Annealing(退火)——高温处理以修复晶格损伤
Cleaning(清洗)——去除晶圆表面的污染物
Packaging(封装)——将芯片封装成为成品
二、设备与工具
Stepper/Scanner(光刻机)——用于光刻工艺的高精度设备
Etcher(蚀刻机)——干法或湿法蚀刻设备
CVD/PVD——化学/物理气相沉积设备
Rapid Thermal Processing(RTP)——快速热处理
Wafer Prober(晶圆探针台)——测试晶圆电性能
Automated Guided Vehicle(AGV,自动导引车)——物料运输
Oxidation Furnace(氧化炉)——高温氧化生成二氧化硅层
Ion Implanter——离子注入机
Wet Bench(湿法清洗台)——化学溶液清洗晶圆
三、材料与化学品
Photoresist(光刻胶)——正胶(Positive)/负胶(Negative)
Reticle/Mask(掩模版)——光刻用模板
Silicon Wafer(硅片)——常用尺寸:6英寸、12英寸
Die(芯片)——切割后的单个晶片
Argon(Ar,氩气)/Nitrogen(N2,氮气)——工艺气体
四、质量控制与检测
Yield(良率)——合格芯片比例
Defect(缺陷)——影响良率的异常点
Critical Dimension(CD,关键尺寸)——图形的最小线宽
五、职位与部门
Process Engineer(工艺工程师)——优化制造流程
Equipment Engineer(设备工程师)——维护生产设备
Quality Engineer(质量工程师)——确保产品符合标准
R&D Engineer(研发工程师)——新技术开发
Technician(技术员)——设备操作与维护
六、行业术语与缩略语
CMOA——互补金属氧化物半导体
FinFET——鳍式场效应晶体管
ASIC——专用集成电路
DRAM——动态随机存取存储器
FMEA——故障模式与影响分析
OEE(Overall Equipment Effectiveness)——设备综合效率
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