氦质谱检漏仪真空镀膜配气面板检漏
氦质谱检漏仪 ASM 340 真空镀膜配气面板检漏
上海伯东某客户生产超高纯度特种气体不锈钢减压阀门, 接头, 管件, 这些配件主要用于集成在真空镀膜配气面板, 实现工艺气体的传输. 为了防止气体外泄, 除了阀门, 接头, 管件需要单独检漏外, 整个配气面板也需要测试整体漏率, 使用上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340, 真空模式下, 漏率设置为 5.5x10-10 Pa m3/s. 组装后的真空镀膜配气面板广泛应用于 CVD 设备.
真空镀膜配气面板检漏
1. 不锈钢减压阀门, 接头, 管件等单独进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
2. 组装后的真空镀膜配气面板, 整体再次进行检漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
上海伯东销售维修氦质谱检漏仪 ASM 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点.
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| 型号 | ASM 340 W |
| 对氦气的最小检测漏率 | 5E-13 Pa m3/s | |
| 检测模式 | 真空模式和吸枪模式 | |
| 检测气体 | 4He, 3He, H2 | |
| 启动时间 min | 3 | |
| 对氦气的抽气速度 l/s | 2.5 | |
| 进气口压力 hPa | 25 | |
| 前级泵抽速 m3/h | 油泵 15 | |
| 重量 kg | 56 |
结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪替代传统泡沫检漏和压差检漏, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>
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