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First-Nano System GmbH
2003年 创立于德国德累斯顿工业大学（Dresden University of Technology）
2008年 香港成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司
2015年 上海成立德国韦氏纳米系统（香港）有限公司中国代表处，负责中国区业务
2018年 深圳正式成立韦氏纳米系统（深圳）有限公司，更好的为中国南方区市场
产品范围：
薄膜沉积/Thin Film Deposition
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蚀/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面处理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
等离子清洗机又称等离子表面处理设备，Tergeo-EM等离子清洗机集于SEM/TEM样品/样品杆表面清洗、抛光、处理与一体，操作简单，具有浸泡式等离子清洗、远程式等离子清洗两种模式。
等离子清洗机又称等离子表面处理设备，Tergeo-EM等离子清洗机集于SEM/TEM样品/样品杆表面清洗、抛光、处理与一体，操作简单，具有浸泡式等离子清洗、远程式等离子清洗两种模式。
等离子清洗机又称等离子表面处理设备，Tergeo-EM等离子清洗机集于SEM/TEM样品/样品杆表面清洗、抛光、处理与一体，操作简单，具有浸泡式等离子清洗、远程式等离子清洗两种模式。
实时监测等离子体强度 |
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Tergeo内置的等离子浓度传感器，实时显示等离子浓度。用户可根据等离子浓度来调节气体流速及射频能量。可根据样品来设定差异化的参数，满足多种样品的清洗需求 |
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