真空封焊炉主要用于石英管真空封焊工艺、快速退火工艺。
技术参数
炉体结构 | 水平 |
炉膛适用大工艺管外径 | Φ170mm (可定制) |
炉膛内径 | Φ190mm (可定制) |
加热区数 | 1段控制(可定制多段) |
工作温度范围 | <800℃ |
极限耐温 | 1100℃ |
极限真空 | 1x10-4pa |
导轨设计 | 根据工艺需求,可设计成炉体移动或真空系统移动的方案 |
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真空封焊炉主要用于石英管真空封焊工艺、快速退火工艺。
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炉体结构 | 水平 |
炉膛适用大工艺管外径 | Φ170mm (可定制) |
炉膛内径 | Φ190mm (可定制) |
加热区数 | 1段控制(可定制多段) |
工作温度范围 | <800℃ |
极限耐温 | 1100℃ |
极限真空 | 1x10-4pa |
导轨设计 | 根据工艺需求,可设计成炉体移动或真空系统移动的方案 |
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