匀胶机

旋转涂覆技术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，

又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、

旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是一样的，即在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，

利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，

也和旋转速度及时间有关

匀胶机技术指标：

1.主轴转速： 　　　200～8000RPM，精度±1RPM，转速可调。

2.主轴加速度：　 　30000RPM/S，连续可调（只对涂胶）

3.工艺工步时间：　 0～999.9秒，设定增量±0.1秒

4.电源条件：　　 　AC220V±10％，50Hz，总功率1.5KW

5.真空条件：            真空度≤-0.085Mpa，