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PCE-8等离子清洗机

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  • 公司名称北京壮仕科技有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/1/15 7:52:56
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     壮仕科技有限公司是一家代理、经销国内外分析仪器、环保仪器、生命科学仪器、电化学仪器设备及耗材、实验室常规设备、生化试剂耗材以及玻璃仪器的专业公司。本着“以质量为依托,靠服务求生存”的宗旨,进行科学管理,不仅为客户提供高品质的分析仪器,更致力于为所有客户提供完整的解决方案。从度身定制产品,专业技术支持,到完善的售后服务,令所有的客户称心满意。

       公司人员均是北京各大高校的毕业生,立足于高校,利用自身日常使用仪器的一些知识为更多用户提供优质的服务。

      

       公司在电化学领域,依托与北京理工大学环境能源中心,不断加强与清华大学、北京科技大学、北京化工大学、北京大学、物理所、哈尔滨工业大学、鼎能开源、有色金属研究总院、机电研究院等高校及研究所的合作。


      通过与电化学领域的厂家,包括上海辰华(CHI系列电化学产品)、科晶集团(MTI锂离子电池实验室加工设备、管式炉、箱式炉、磨抛设备)、武汉蓝电(LAND电池测试设备)、PINE旋转圆盘电极、Arbin电化学测试系统等的合作,不断为广大电化学研究者提供面、颖的研究设备和质的服务。        

表面处理仪
产品简介:PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0-100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz
PCE-8等离子清洗机 产品信息

产品简介:PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 Ø8.5"×12"的石英腔体,采用的射频电源功率0- 100W连续可调节,采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理,对生长具有显著的作用PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵,可对腔体进行抽真空,同时通入氩气等保护气体,适用于对易氧化的物品的清洗。

  

产品型号

PCE-8等离子清洗机

主要特点

1、采用6"彩色触摸屏,可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等

2、内部配有0-500mm/min的质量流量计,可以精确地控制进气流量。

技术参数

1、电源:AC220V

2、射频功率:100W,可在0-100W间调节

3、真空泵功率:<>

4、总功率:<>

5、射频:13.56MHz

6、等离子腔体:高纯石英腔体,外径Ø8.5",内径Ø8.2",长12",采用铝制折叠式法兰进行真空密封,法          兰设有一个Ø60mm的观察窗口

7、极限真空度:50mtorr

8、通入气体:可通入多种气体,如N2ArAirH2O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸:620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵(240L/min

2KF25波纹管

3KF25手动挡板阀

可选配件

1300W600W射频电源(进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验)

22"-6"石英舟(盛放基片)

32-4通道浮子混气系统

42-4通道质子混气系统

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