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温度范围：
l 密闭低温+高温：-60℃ ~ +120 ℃/ 200℃/400 ℃
l 真空低温+高温：-196 ℃ /269 ℃ ~ +120 ℃/ 200 ℃/ 400 ℃/500 ℃/900℃/1200℃
样品台尺寸：
l 密闭高低温样品台：4英寸/6英寸/8英寸/12英寸
l 真空高低温样品台：1.25英寸/2英寸/4英寸
显微观察倍率：
l 体视显微镜：综合放大倍率14X~200X（配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约5微米；
l 金相显微镜：综合放大倍率20X~2000X （配合CCD相机+显示器），光学小分辨率约0.5微米。
微定位座和夹具：
l 器件是几端口，二极管为2端，三极管为3端，场效应管为4端，特殊多端口器件；
l 测量何种参数，电压、电流、电阻、电容、单色光、激光、光谱、光强等；
l 配套仪表，数字源表、半导体参数分析仪、矢量网络分析仪、频谱仪、信号发生器、示波器、锁相放大器等
