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总体规格特点:
l 重量：30kg
l 尺寸：450mm宽x400mm深x600mm高
l 优化的人体工学设计，便于工程师长时间舒适的操作。
载台（chuck）规格：
l 4英寸/6英寸载台，直径101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm
l 载台采用真空吸附方式吸附样品，小吸附样品尺寸为5mmx5mm
l 载台X-Y轴微调行程101.6mmX101.6mm，微调分辨率1μm
l 载台Z轴方向微调升降10mm，微调分辨率1μm
l 载台水平角度调节范围0°～360°，旋转精度0.01°
l 载台电学独立悬空，可作背电极使用。
针座台面规格:
l U型抛光不锈钢台面
l 针座台面平整度：±3μm
l 可容纳针座数量：4~6个。
显微镜操纵规格:
l 配有摆臂调节机构，可调节显微镜在X-Y任意方向的快速移动
l 显微镜Z轴带有调焦旋钮，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动精度1μm。
应用场景：
l 直流IV/CV测试
l Pulse IV测试
l 阻抗测试
l 时域分析测试
l 有源射频测试
l 无源射频/微波测试。
