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M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪

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  • 公司名称易泛特技术(深圳)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2024/5/16 11:43:26
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易泛特技术(深圳)有限公司成立于2016年,有多名行业专家,致力于为行业客户提供业界的高分辩率、非接触式3D测量系统;Effecttek 3D测量系统采用白光和红光等纳米级分辩率的光学器件,配合高精度X/Y/Z移动平台和强大的3D软件算法处理,帮助用户解决精密测量难题,包括:线宽膜厚测量、高度差测量、平面度测量、共面度测量、粗糙度测量等,对透明材质的多层测量也得心应手;产品广泛应用于微电子、半导体、5G、3D玻璃、新型医疗、精密工业制造等领域,提供从产品研发、设计到加工验收的高精度测量支持。
x射线荧光镀层测厚仪
M系列BA-100X射线荧光毛细管镀层测厚仪产品参数:项目技术参数X射线管50W钥靶射线管15um毛细管光学结构探测器135eV分解率的建漂移探测器滤波器4位置一次过滤器处理器英特尔
M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪 产品信息

M系列 BA-100 X射线荧光毛细管镀层测厚仪 



产品参数:



项目


技术参数


X射线管


50W钥靶射线管15um毛细管光学结构


探测器


135eV分解率的建漂移探测器


滤波器


4位置一次过滤器


处理器

 


英特尔,酷睿i5  3470处理器(3.2GHz),8GB  DDR3内存Windows 10,64位


分析能力

 

5层(4层+基材)每层分析10种元素,成分分析最多可同时分析25种元素

焦距


固定焦距(0.05”)



视频放大倍率

 


100x:微双摄像头,2x:宏观摄像头



工作环境



温度在20℃~25℃之间,相对湿度小于98%,无冷凝


数字脉冲处理


4096多通道数字处理器  自动死时间,逃逸峰校正



重量


70kg


元素测量范围


13号铝元素至92号铂元素

相机


1/4CMOS-1280x720VGA分辨率



电源



150W,100~240V

频率范围为47Hz~63Hz



可编辑XY平台



尺寸:425mm(17”)x 400mm(16”)

行程:165mm(6.5*)x165mm(6.5”)高精度



尺寸(高x宽x深)

 


样品仓:140mm(5.5”)x305mm(12”)x330mm(13”)

外形:500mm(18“) x450mm(18”)x600mm(24”)




领域


非常小的样品,如半导体,连接器或PCB领域 


非常薄的涂层(<100nm


需要测试多个样品的多个位置               


需要在短时间内完成测量(1-5秒)


保证符合IPC-4552A,4553A,4554和4556



特点:


M系列是机型,其光斑尺寸仅为15μm(FWHM),100倍放大相机用于观察样品上的细微特征;同时配有低倍数相机,

用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品,点击图像,通过高倍放大相机进行放大,实现

测量点的精确定位和测量。


可编程的XY平台,可精确定位多个测量点;博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能可帮助客户自动快速完成细微

样品特征的测试。的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。




配置

该系列采用15μm毛细管光学结构和高分辨率SDD探测器,以处理更高的计数率。相机具有100×放大和更高的数字变焦能力。

可编程的XY样品台是标准配置。M系列焦距非常小,所以使用时样品必须平整。


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