VPS-RF40真空等离子清洗机
产品简介:
VPS-RF40真空等离子清洗机是一款中小型真空等离子清洗机,广泛应用于科研院校,企业研发单位和小批量生产打样。设备采用品牌高性能旋片真空泵,同时根据客户工艺要求,对真空反应腔室内通入不同的混合工艺气体。进口高品质等离子发生器,产生等离子体,并确保稳定产生高密度,高能量的离子。等离子体能与材料发生复杂的物理,化学反应,可以实现不同的工艺功能,比如清洗,活化,刻蚀与涂覆等。
产品特点:
(1)等离子清洗机清洗效率高,应用范围广;
(2)对清洗样品,没有任何外观尺寸、材质等要求;
(3)在清洗过程中,温升比较小,基本可达到常温处理;
(4)射频功率可无极连续可调,高效的特制电极是产生均匀等离子体的保证;
(5)具备过载、过热和短路保护电路,可保证射频电源的稳定和安全;
(6)设备采用模块化设计,安装与维护都极为简单。
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产品应用:去除表面有机物、提高粘接性、提高表面润湿性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度
产品参数:
型号 | VPS-RF40 | |
等离子频率 | 13.56MHz自动阻抗匹配 | |
腔体材质 | 进口级316L不锈钢/航空铝合金(可选) | |
真空泵 | 油泵/干泵(可选) | |
极限真空 | 5Pa | |
功率 | 0-300W(连续可调) | |
腔体尺寸 | 350(L)*400(D)*300(H)mm | |
腔体容积 | 40L | |
腔体有效处理面积 | 300(L)×310(D)mm | |
气路数量 | 2路气体,支持氧气,氩气,氮气,氢气等(腐蚀性气体需定制) | |
极板间距 | 35mm(根据产品尺寸可调) | |
处理层数 | 4层 | |
控制方式 | PLC+触摸屏 | |
电源 | AC220V/50Hz | |
外形尺寸 | 680mm(L) X 800m (w) X1500mm (H) |